可調(diào)式陰極模塊

APC 陰極模塊

可調(diào)式磁場設(shè)計，確保更高的靶材利用率。擁有更快的弧斑跑動速度，較小的弧光斑點，較高的離化率，較小的液滴。更利于低熔點靶材的離化，尤其適用于AlCrN基涂層制備。

通過調(diào)整陰極磁場的布局，改變水平磁場和軸向磁場分量，確?；」馀軇铀俣群图?xì)化。先進(jìn)的高能離子源可有效減少涂層液滴，滿足大多數(shù)單層，多層，納米層的涂層生產(chǎn)。尤其在3C銑刀領(lǐng)域表現(xiàn)突出。
AFC陰極電弧