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大功率無液滴高光弧PVD真空設備與先進工模具涂層解決方案

納獅Spark高光弧技術,廣泛用于3C高光刀涂層應用。相較于傳統(tǒng)的過慮弧多弧離子鍍,甚至最新的Hipims高頻磁控濺射,液滴明顯及膜缺陷顯著減少。

01 常見PVD設備工藝對比

 

納獅Spark無液滴技術再創(chuàng)新突破: 以TiN 涂層為例,厚度2.5um,沉積速率0.5um/h,Ra<0.05um,硬度34Gpa.

納獅無液滴涂層

多弧離子鍍 磁控濺射 納獅Spark高光弧
靶材材料受限

表面粗糙度高>Ra0.2

離化率高>60%

沉積速率高>1um/h

濺射材料豐富

表面粗糙度低Ra0.05

離化率低20%-40%

沉積速率低0.35um/h

濺射材料豐富

表面粗糙度低<Ra0.05

離化率低>90%

沉積速率低0.5um/h

 

02 高光弧工藝特點

  • 高光弧涂層:鍍膜更硬更少液滴
    高光弧涂層技術特點
  • 高光弧涂層:減小表面粗糙度可減小表面潤濕性,起到抗沾粘效果
    高光弧納米涂層抗粘粘
  • 高光弧涂層:較少涂層液滴,缺陷更少,涂層更致密
    低缺陷,納米涂層更致密

03 納獅高光弧真空鍍膜設備

納獅PVD、PECVD、DLC工藝真空鍍膜設備,適用于刀具涂層、模具涂層、零件涂層及醫(yī)療生物涂層。提供整廠軟硬件交鑰匙輸出方案,并提供“陪跑”服務,真正幫助客戶講真空鍍膜哦設備用好用得起來。

M850 高光弧設備

04 高光弧刀具Ta-c涂層應用

使用Ta-C涂層可以有效提升刀具壽命,降低加工成本,提升產品質量。

高光刀具涂層應用

 

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