SET刻蝕模塊

側(cè)面氬離子體清洗系統(tǒng)確保涂層有效區(qū)域刻蝕均勻性為±10%， 刻蝕速率250nm/h，有效祛除基體材料表面微氧化層，增強涂層與基材結(jié)合力。

 

MET刻蝕模塊

金屬刻蝕可以增強硬質(zhì)涂層與基材結(jié)合力。通過調(diào)整陰極磁場設(shè)計，確保陰極在低電流條件下工作，控制金屬刻蝕的能量。低電流的金屬刻蝕可以有效減少刀工具燒蝕風(fēng)險。