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可調(diào)式陰極模塊

2021年2月3日 5556

APC 陰極模塊AFC陰極模塊可調(diào)式磁場設(shè)計(jì)，確保更高的靶材利用率。擁有更快的弧斑跑動(dòng)速度，較小的弧光斑點(diǎn)，較高的離化率，較小的液滴。更利于低熔點(diǎn)靶材的離化，尤其適用于AlCrN基涂層制備。 ,

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