高可靠性高功率器件焊錫濺射（取代Au濺射）技術(shù)及設(shè)備，可實現(xiàn)材料成本減半

工業(yè)控制及自動化、新能源汽車、電機節(jié)能、太陽能風(fēng)能發(fā)電等領(lǐng)域需要各種類型的功率器件，功率器件制造流程，硅片的歐姆接觸層，采用高可靠性焊錫濺射取代純金濺射工藝，可以實現(xiàn)材料成本減半。

熱循環(huán)測試、1個循環(huán)：-40°C×30min，125°C×30min。焊錫濺射在1000個循環(huán)結(jié)束后，仍獲得了與常規(guī)工藝相同甚至更好的接合強度。

假設(shè)常規(guī)工藝的膜材料成本為1，對無Au新工藝的成本進行了估算，與傳統(tǒng)的Au濺射相比，焊錫濺射可以降低約50%的膜材料成本。

多樣的設(shè)備構(gòu)成方案：可以根據(jù)膜種和要求提供各種設(shè)備構(gòu)成提案，multi cathode Carousel設(shè)備可以減少chamber數(shù)，實現(xiàn)成本控制。

納獅新能源實驗室，提供整廠定制真空鍍膜設(shè)備工藝及設(shè)備方案。

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