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HPPMS大功率脈沖磁控濺射PVD涂層技術

2018年11月28日 4215

參考： 高功率脈沖磁控濺射（HPPMS），也稱為高功率脈沖磁控濺射（HIPIMS）是基于磁控濺射沉積的PVD涂層技術。HPPMS利用kW / cm 2量級的極高功率密度在小于10％的低占空比（開/關時間比）下，以數(shù)十微秒的短脈沖（脈沖）為單位。HPPMS的顯著特征是濺射金屬的高度電離...

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