99热这里有精品,老头猛吸女大学奶头A片,国产超碰人人模人人爽人人添 http://www.zpiqdil.cn PVD-DLC-CVD納米涂層加工及真空鍍膜設(shè)備商,刀具、模具硬質(zhì)涂層服務(wù),高溫吸光-DLC-抗粘黏-絕緣-DLC耐磨自潤滑涂層 Wed, 13 Dec 2023 08:58:47 +0000 zh-Hans hourly 1 http://www.zpiqdil.cn/wp-content/uploads/2023/11/cropped-納獅新logo-e1699420413612-2-32x32.png PVD涂層 – 納獅新材料有限公司-真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備研發(fā) http://www.zpiqdil.cn 32 32 面向未來-納獅新征程-2021深圳新能源汽車產(chǎn)業(yè)高峰論壇 http://www.zpiqdil.cn/%e9%9d%a2%e5%90%91%e6%9c%aa%e6%9d%a5-%e7%ba%b3%e7%8b%ae%e6%96%b0%e5%be%81%e7%a8%8b-2021%e6%b7%b1%e5%9c%b3%e6%96%b0%e8%83%bd%e6%ba%90%e6%b1%bd%e8%bd%a6%e4%ba%a7%e4%b8%9a%e9%ab%98%e5%b3%b0%e8%ae%ba/ Wed, 02 Jun 2021 07:18:02 +0000 https://www.naxau.cn/?p=1620 5月28日,在深圳舉辦的“2021新能源汽車產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇”圓滿落幕,本次峰會重點關(guān)注三電系統(tǒng)的發(fā)展與先進制造關(guān)鍵技術(shù)、智能制造數(shù)字化轉(zhuǎn)型、汽車輕量化及環(huán)保材料,就市場布局、技術(shù)升級、材料應(yīng)用、智能制造等專題展開討論。納獅不斷研發(fā)新PVD納米涂層工藝,助力“十四五”強國強企戰(zhàn)略。

2021新能源汽車產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇

從目前來看,絕大部分自主品牌僅掌握了整車控制器與三電集成技術(shù),對三電零部件技術(shù)卻是處于剛?cè)腴T的初級階段。本次峰會以“新型、安全、環(huán)?!睘橹黝},重點關(guān)注三電系統(tǒng)的發(fā)展與先進制造技術(shù)、汽車輕量化及環(huán)保材料,就市場布局、技術(shù)升級、材料應(yīng)用、生產(chǎn)制造等專題展開討論,幫助企業(yè)在后疫情時期調(diào)整研發(fā)策略,優(yōu)化產(chǎn)品性能,提升生產(chǎn)效率,實現(xiàn)新基建環(huán)境下的成功轉(zhuǎn)型 !

納獅PVD刀具涂層 納獅PVD刀具涂層

主辦單位

先進電池材料產(chǎn)業(yè)集群

上海榮格展覽有限公司

參會嘉賓

廣州廣汽荻原模具沖壓有限公司 產(chǎn)品技術(shù)科長
龍海協(xié)能新能源科技有限公司 總經(jīng)理
廣州廣汽荻原模具沖壓有限公司 開發(fā)科科長
深圳電源行業(yè)協(xié)會 秘書長
廣州廣汽荻原模具沖壓有限公司 焊接技術(shù)科科長
東風(fēng)日產(chǎn)乘用車公司 材料開發(fā)
北汽(廣州)汽車有限公司 產(chǎn)品技術(shù)主管工程師
浙江吉利新能源商用車有限公司 新能源技術(shù)部部長
北汽(廣州)汽車有限公司 質(zhì)量工程師
惠州比亞迪電池有限公司 產(chǎn)品經(jīng)理
福鼎市科龍汽車部件有限公司 市場部經(jīng)理
惠州比亞迪電池有限公司 產(chǎn)品經(jīng)理
廣汽菲亞特克萊斯勒汽車有限公司廣州分公司 焊裝工藝組長
惠州比亞迪電池有限公司 產(chǎn)品經(jīng)理
廣汽菲亞特克萊斯勒汽車有限公司廣州分公司 焊裝工藝工程師
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合作伙伴 http://www.zpiqdil.cn/%e5%90%88%e4%bd%9c%e4%bc%99%e4%bc%b4-2/ Mon, 30 Nov 2020 08:55:56 +0000 https://www.naxau.cn/?p=1189 截止至2020年,納獅納米功能PVD涂層在中國有超過6000家合作伙伴,廣泛應(yīng)用于絲攻,沖棒,精沖,銑刀,滾齒刀,插齒刀,模具及零部件各種場景。并且還在不斷擴展新的行業(yè)應(yīng)用。請聯(lián)系您最近的涂層服務(wù)中心,以獲取最新的客戶案例。

部分PVD涂層合作伙伴

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高于預(yù)期,納獅Naxau PVD涂層在逆境中增長 http://www.zpiqdil.cn/%e7%ba%b3%e7%8b%aenaxau-pvd%e6%b6%82%e5%b1%82%e5%9c%a8%e9%80%86%e5%a2%83%e4%b8%ad%e5%a2%9e%e9%95%bf/ Fri, 11 Sep 2020 08:52:50 +0000 http://localhost/theme20/?p=674 ——疫情下的SIMM機械展,納獅Naxau PVD涂層“危機并存”

2020年9月的深圳,疫情態(tài)勢依然嚴(yán)峻。機械展依然類似于同行交流會。而繁華落盡看秋天,沉淀下的客戶和深耕行業(yè)的制造商更顯優(yōu)質(zhì)。在為數(shù)不多的觀展客戶中,出現(xiàn)不少以一抵十的客戶,為我們帶來更堅定的持續(xù)創(chuàng)新的動力。

納獅pvd涂層-simm展會

 

納獅(Naxau)的AG亞高光(AlCrN基)刀具涂層,在不銹鋼車銑應(yīng)用上價格及效率優(yōu)勢明顯,在沿海前沿技術(shù)機加工應(yīng)用廣泛。在模具涂層中,納獅AMC玫瑰金(AlTiN基)納米涂層可以成倍提升模具壽命。

 

從十幾年前納獅剛進入中國市場時,觀展客戶對納獅涂層充滿好奇和疑問,到現(xiàn)在開始深入詢問刀具,模具涂層的技術(shù)方案,詢問打樣細(xì)節(jié),這展示了中國機加工行業(yè)的長足進步,和納獅涂層得到廣泛的應(yīng)用和信任。納獅人勵志前行,繼續(xù)積攢業(yè)內(nèi)服務(wù)標(biāo)桿,保持品質(zhì)穩(wěn)定的口碑。

納獅涂層-SIMM展會樣件

納獅PVD涂層、亞高光涂層-SIMM機械展樣件

pvd涂層-深圳simm展會


納獅(Naxau)——定制涂層,助您實現(xiàn)夢想!

網(wǎng)址: https://www.naxau.cn/

電話:?0573 8507 1366

 

超晶集團-納獅(Naxau)涂層 – 東莞瀚晶納米材料有限公司

地點 : 深圳國際會展中心(寶安新館)

時間 : 2020年9月1至9月4日

展位 : 6-N19

感謝各位朋友的支持和信賴?。。?/p> ]]> 2020納獅新材料有限公司成都分公司企業(yè)環(huán)境信息公開 http://www.zpiqdil.cn/2020%e7%ba%b3%e7%8b%ae%e6%96%b0%e6%9d%90%e6%96%99%e6%9c%89%e9%99%90%e5%85%ac%e5%8f%b8%e6%88%90%e9%83%bd%e5%88%86%e5%85%ac%e5%8f%b8%e4%bc%81%e4%b8%9a%e7%8e%af%e5%a2%83%e4%bf%a1%e6%81%af%e5%85%ac/ Wed, 15 Jul 2020 08:51:39 +0000 http://localhost/theme20/?p=668 2020年4月份,納獅新材料有限公司成都分公司通過環(huán)保檢測。納獅以及子公司,都將承擔(dān)應(yīng)有的企業(yè)及社會責(zé)任。文字為驗收報告。

納獅成都分公司,為集團在西南地區(qū)成立的第二家全資公司,其PVD涂層在本地的刀具涂層及沖壓模具涂層市場中,有較好的技術(shù)優(yōu)勢和服務(wù)口碑。歡迎各界朋友蒞臨指導(dǎo)。

下載

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PVD涂層滾刀失效模式分析 http://www.zpiqdil.cn/pvd%e6%b6%82%e5%b1%82%e6%bb%9a%e5%88%80%e5%a4%b1%e6%95%88%e6%a8%a1%e5%bc%8f%e5%88%86%e6%9e%90/ Fri, 03 Jul 2020 03:20:49 +0000 https://www.naxau.cn/?p=970 滾刀失效模型分析

1. 刀具壽命影響因素
刀具材料、硬度
PVD涂層材料及品質(zhì)
工件材料硬度和金相結(jié)構(gòu)
切削速度和進給
切削液型號和正確使用
竄刀方式
滾刀裝夾
最大磨損量標(biāo)準(zhǔn)

2. 磨損標(biāo)準(zhǔn)
應(yīng)制定刀具最大容許磨損量,并在刀具磨損達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)后及時修磨。推薦值如下(僅供參考):
硬質(zhì)合金刀具容許磨損量為0.10mm,實際應(yīng)用中也常用0.15mm
粉末冶金高速鋼的典型磨損量為0.2mm
傳統(tǒng)高速鋼的典型磨損量為0.3-0.4mm

3. 過度磨損的跡象
機床功率增加或功率急劇下降
機床振動增加
切削時噪聲增加
產(chǎn)生過量的熱, 工件和刀具溫度上升
工件表面粗糙度惡化
工件尺寸超差
在刀具沿工件切出面毛刺變大
用放大鏡實測刀具磨損量超標(biāo)
刀具崩刃,手摸刃口有不平整刮手的感覺
切屑堆積排屑不暢,積屑瘤,切屑粘黏

4. 滾刀失效模式示意圖


磨損(正常磨損VS過早磨損)

頂刃、側(cè)刃面邊界磨損
邊角磨損
側(cè)后刃面磨損(溝槽)
月牙洼(前刃面磨損)
崩刃、 微崩刃

異常磨損

齒面斷裂
磨前刃面時造成的裂縫
過大的月牙洼
應(yīng)力集中點上的裂縫
積屑

4.1? 頂刃、側(cè)刃邊界磨損(正常磨損)

刀具損傷方式

一種側(cè)面磨損的方式是磨穿PVD涂層,基材也被磨掉。不同的應(yīng)用容許有正常的磨損量。

可能的原因

原因一:正常的磨損一定會發(fā)生,只是看使用壽命是否達(dá)到設(shè)定目標(biāo)。

原因二:刀具材料、PVD涂層的耐磨性是否足夠。

原因三:刀具修磨的毛刺,在PVD涂層前未徹底去除

可能的解決方法>

  • 方案一:降低速度,從而降低溫度。
  • 方案二:采用更耐磨的刀具基材和PVD涂層。
  • 方案三:控制刀具修磨盡量減少減輕毛刺;PVD涂層前處理徹底去除毛刺。

4.2? 月牙洼磨損

刀具損傷方式

靠近刃口的超大月牙洼會造成刃口易折或較差的工件表面質(zhì)量。

可能的原因

原因一:過大切削壓力,過高溫度,前刃面銹蝕,過高切屑厚度

原因二:刀具材料、PVD涂層選擇不當(dāng),耐高溫性不足

可能的解決方法

方案一:降低速度,從而降低溫度

方案二:降低進給量,以減少切屑厚度

方案三:前刃面采用正前角

方案四:采用更耐耐高溫的刀具基材,以及耐高溫性更好的PVD涂層(如ALTiN、CrAlN等)

4.2.1? 后刃面溝槽狀磨損

刀具損傷方式

后刃面嚴(yán)重拉傷,一般為一層或兩層復(fù)合剝落拉傷

可能的原因

原因一:超長時間切削超出刀具壽命,或崩刃未及時發(fā)現(xiàn)繼續(xù)加工導(dǎo)致的?

原因二:由于排屑槽有積屑排不出去導(dǎo)致的?

原因三:刀具修磨時沒有將上次磨損修全?

原因四:工件沒有夾緊

可能的解決方法

方案一:增加竄刀量

方案二:降低竄刀循環(huán)次數(shù)

方案三:參見崩刃磨損

方案四:參見切削堆積

方案五:評估滾刀修磨量

方案六:增加工件夾持力

4.3? 崩刃

刀具損傷方式

刃口的小到中型的崩刃

可能的原因

原因一:刀具材料太硬太脆

原因二:工件材料太硬

原因三:切削時剛性不夠,有振動

??可能的解決方法

方案一:選擇強度更好的刀具材料

方案二:刀具修磨后,涂層前的刃口鈍化處理

方案三:熱處理時提高刀具強度

方案四:減少進給量來降低切屑厚度

方案五:檢查工裝,增加固定支架

4.4? 斷刃、斷齒

刀具損傷方式

大的崩刃,或者整齒斷裂。

可能的原因

原因一:過量沖擊負(fù)載
原因二:機床碰撞、故障、工件打滑
原因三:使用前搬運損傷
原因四:月牙洼擴展到邊緣導(dǎo)致刃斷裂
原因五:修磨時產(chǎn)生裂痕
原因六:應(yīng)力集中

可能的解決方法

方案一:減小速度以降低溫度,減小進給以降低切屑厚度
方案二:減小刀具前角,降低切削阻力
方案三:使用抗沖擊性更好的刀具材料
方案四:加強修磨工藝控制
方案五:對連接處應(yīng)力集中點的圓弧過渡

4.5? 排屑槽內(nèi)的切屑堆積

刀具損傷方式

工件的切屑堆積、卡在排屑槽,粘黏在前刃面或齒背面。

可能的原因

原因一:排屑槽尺寸不夠
原因二:梯形積屑槽卡住切屑
原因三:排屑槽前后面的表面質(zhì)量較差
原因四:冷卻液或風(fēng)冷氣流量不足
原因五:排屑量大于排屑槽排屑的能力

可能的解決方法

方案一:磨排屑槽后面以增加排屑槽尺寸,或改善表面粗糙度
方案二:將排屑槽的梯形截面用圓弧來過渡
方案三:調(diào)整冷卻液噴嘴或氣嘴的位置和流量
方案四:減小進給率增加切削時間
4.6? 刃口積屑瘤

? ?刀具損傷方式

工件材料粘黏冷焊到刀具刃口并形成新的切削刃,新的切削刃的不規(guī)整造成工件表面質(zhì)量差。

當(dāng)積屑瘤剝落時有可能造成刀具刃口崩刃。

可能的原因

原因一:工件材料軟而且粘
原因二:刀具后角不夠
原因三:冷卻液流量不足或型號不對

可能的解決方法

方案一:提高切削速度
方案二:采用PVD涂層以降低刀具表面摩擦系數(shù)
方案三:換工件材料或正火提高工件硬度
方案四:增加后角,評估動態(tài)后角
方案五:增加前刃面前角角度
方案六:采用防粘黏的冷卻液

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切削刀具涂層 http://www.zpiqdil.cn/%e5%88%87%e5%89%b2%e5%88%80%e5%85%b7-%e7%9c%9f%e7%a9%ba%e6%b6%82%e5%b1%82/ Tue, 14 Apr 2020 10:01:38 +0000 http://localhost/theme20/?p=790
納獅常用銑刀涂層切削刀具涂層

現(xiàn)代切削刀具的主要挑戰(zhàn)

高性能材料的應(yīng)用漸增,加工難度也更高。材料有更高的硬度、抗拉強度、粘性、低熱傳導(dǎo)性、硬化層等,典型的難加工材料有沉淀硬化型不銹鋼、鈦合金、高溫合金等。 高效、環(huán)保成為切削加工的主要訴求。高速切削、干式切削等方式正在廣泛應(yīng)用。 精度要求更高,刀具系統(tǒng)長久的穩(wěn)定性更重要。
  • 刀具種類3C銑刀、微鉆、鋼板鉆、絲錐、滾插刀、拉刀、模切刀等

納獅涂層在刀具上的優(yōu)勢

  • 針對現(xiàn)代刀具的挑戰(zhàn),納獅開發(fā)出獨特的ShRL四層刀具涂層系統(tǒng)。依次為最靠近基材的應(yīng)力吸收S膜,第二層高硬度的耐磨h膜,第三層抗高溫的R膜,與最上面的底摩擦系數(shù)的L膜。
  • PVD納米涂層具有超高的硬度,但大部分廠商的涂層都因為太硬而一開始切削就在刃口崩落了。納獅涂層的研發(fā)工程師在厚的高硬度h膜下設(shè)計了一層應(yīng)力吸收S膜,大幅增加了硬膜的穩(wěn)定性,讓刀具壽命提升2到5倍,是涂層產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)舉。刃口硬涂層沒有微崩,切削出來的產(chǎn)品表面更光亮,符合高精度切削要求。
  • 針對高速與干式切削帶來的大量溫度問題,納獅涂層在高硬度h膜上設(shè)計了一層抗高溫的R膜,讓切削熱盡量排斥在刀具外面,大部分熱量被切屑帶走。
  • 最表面還需要針對被加工的材料設(shè)計一個低摩擦系數(shù)的L膜,不同粘性被加工材如不銹鋼、鈦合金、高溫合金等需要設(shè)計不同的L膜。

車刀片涂層

根據(jù)刀片的具體的加工形狀、機床參數(shù)(工藝、速度等)、被加工材料(熱處理工藝、硬度等),推薦使用不同的PVD刀片涂層。

對于終端客戶,批次加工材料固定,可以選用不銹鋼、高溫合金等專用刀片涂層。而針對需要備庫的經(jīng)銷商,則可以考慮通用涂層,應(yīng)對不同加工材料需求。

涂層名稱顏色涂層硬度(HV)抗氧化溫度℃摩擦系數(shù)涂層厚度μm應(yīng)用推薦
復(fù)合TiN金黃20005000.252-3通用鋼件加工;抗粘黏性較好
TX-S金黃35008000.254-6普通鋼材、鑄鐵、不銹鋼通用涂層
AML紫黑色33008000.33-4一般鋼件加工
AMR古銅色420010000.32-3針對不銹鋼、高硬材料;耐磨耐高溫
AMT灰色400012000.33-4針對高硬、鎳基合金等難加工材料

有用信息:

  • 納獅刀片涂層應(yīng)用推薦,是經(jīng)過客戶對比測試的大數(shù)據(jù)匯總而成。如果刀具壽命不理想,可以嘗試更換基材和刀型。同時,我們也歡迎提供對比樣件測試,以不斷提升涂層品質(zhì)。
  • 納獅PVD刀片涂層專頁下載

典型刀具涂層應(yīng)用

▼ 01 HIPIMS制備的TIB2涂層在鈦合金切削刀具中應(yīng)用

鈦合金材料加工過程中切削力大、溫度高,導(dǎo)致刀具磨損快、加工過程時變性增強,雖然保證了構(gòu)件的尺寸和形位精度滿足設(shè)計要求,但是工件表面會出現(xiàn)加工刀痕、棱邊損傷、表面微裂紋、加工硬化、組織損傷等表面完整性問題。

利用Hipims技術(shù)制備TiB2 涂層,具有高離化率特征,能量高,制備涂層致密,應(yīng)力小,不容易崩卻。同時TiB2 涂層刀具表面氧化所產(chǎn)生的 B2O3 液化膜,起自潤滑作用,減少粘粘。具有較小磨損量,可以有效延長鈦合金切削加工刀具的使用壽命。

更多……

▼ 02 中速干切粗加工,并帶有強烈沖擊的條件下刀片涂層

利用Hipims技術(shù)制備TiB2 涂層,具有高離化率特征,能量高,制備涂層致密,應(yīng)力小,不容易崩卻。同時TiB2 涂層刀具表面氧化所產(chǎn)生的 B2O3 液化膜,起自潤滑作用,減少粘粘。具有較小磨損量,可以有效延長鈦合金切削加工刀具的使用壽命。

更多……

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金屬壓鑄模具 http://www.zpiqdil.cn/%e9%87%91%e5%b1%9e%e5%8e%8b%e9%93%b8%e6%a8%a1%e5%85%b7-%e7%9c%9f%e7%a9%ba%e6%b6%82%e5%b1%82/ Tue, 14 Apr 2020 10:01:03 +0000 http://localhost/theme20/?p=786
沖壓成型模具金屬壓鑄模具
沖壓成型模具金屬壓鑄模具
金屬壓鑄模具-納米涂層金屬壓鑄模具

金屬壓鑄模具

壓鑄過程中的粘膜,沖蝕,腐蝕而造成的產(chǎn)品廢品率高,生產(chǎn)效率低下,深圳造成磨具的損壞等……
  • 行業(yè)應(yīng)用 沖壓模具 | 塑膠模具 | 壓鑄模具 | 拉伸模具

現(xiàn)代壓鑄模具的主要挑戰(zhàn)

● 更高的生產(chǎn)力是現(xiàn)代壓鑄產(chǎn)業(yè)永無止境的訴求,壓鑄模具的工藝環(huán)境就在更高溫、高壓、高速下有面臨了新的挑戰(zhàn)。
● 就在原本惡劣的工藝環(huán)境之下產(chǎn)業(yè)還要求壓鑄的產(chǎn)品要達(dá)到更高的精度,甚至一次成型,不做任何二次加工。

納獅涂層在壓鑄模具上的優(yōu)勢

● 針對現(xiàn)代壓鑄模具的挑戰(zhàn),納獅開發(fā)出獨特的“杜霸”壓鑄涂層系列。我們先在模具鋼材表面低壓滲入一個50-200微米的硬化層,接著在硬化層的支撐上沉積我們獨特的SGL膜。依次為應(yīng)力吸收S膜,再來是一層非常厚的低熱傳導(dǎo)速率膜與高硬度膜交叉累積1500多層的G膜,最上面再沉積一層低摩擦系數(shù)的L膜來防止粘料。
● 杜霸壓鑄涂層的低熱傳導(dǎo)速率G膜可有效減緩壓鑄模具上冷熱變化的幅度,延遲模具因快速冷熱所產(chǎn)生的熱沖擊疲勞。同時200微米厚的硬質(zhì)復(fù)合涂層能夠承受壓鑄中的高壓并減少表面磨損,保持精度。

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微小改進的力量是技術(shù)變革的原動力-DMC模具展2019 http://www.zpiqdil.cn/%e5%be%ae%e5%b0%8f%e6%94%b9%e8%bf%9b%e7%9a%84%e5%8a%9b%e9%87%8f%e6%98%af%e6%8a%80%e6%9c%af%e5%8f%98%e9%9d%a9%e7%9a%84%e5%8e%9f%e5%8a%a8%e5%8a%9b-dmc%e6%a8%a1%e5%85%b7%e5%b1%952019/ Sat, 29 Jun 2019 01:33:22 +0000 https://www.naxau.cn/?p=1057 納獅涂層DMC2019-中國上海國際模具技術(shù)和設(shè)備展覽會

一年一度中國模具制造、裝備和技術(shù)領(lǐng)域的盛大聚會——DMC2019中國國際模具技術(shù)和設(shè)備展覽會暨2019上海國際汽車模具和成形工藝裝備展覽會現(xiàn)已圓滿落幕!本屆DMC2019展出面積達(dá)八萬平方米,共吸引了來自16個國家和地區(qū)近千家展商同臺展出。

作為PVD納米涂層行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè),納獅涂層也如期和各位新老朋友在本次DMC展上相會。


本次展會納獅涂層帶來了最新研發(fā)的3款涂層:

  1. 模具涂層應(yīng)用的Dura-ARS涂層,適合于厚板、高強度板拉伸、成形和壓鑄。
  2. 模具高硬材料切削刀具應(yīng)用的APS涂層,適合加工HRC45~HRC65材料的各種銑刀,刀片。
    鉆頭應(yīng)用的HMA涂層,適合硬質(zhì)合金鉆頭以及加工HRC35~55材料的各種銑刀,刀片。
  3. 包括納獅原有的適合沖壓模具的ARS涂層,鏡面模具專用的TN涂層。

納獅在模具領(lǐng)域已經(jīng)擁有了一系列的涂層產(chǎn)品,可以為廣大模具企業(yè)提供最完善,最專業(yè)的涂層解決方案。



DMC2019 展會期間,納獅涂層的各位銷售以飽滿的熱情,專業(yè)的素養(yǎng)接待了海內(nèi)外來展的客人。展會結(jié)束后納獅人也將以更高的熱情,更好的服務(wù),為廣大模具,刀具企業(yè)提供最佳的涂層解決方案,為客戶創(chuàng)造價值。

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HPPMS大功率脈沖磁控濺射PVD涂層技術(shù) http://www.zpiqdil.cn/hppms%e5%a4%a7%e5%8a%9f%e7%8e%87%e8%84%89%e5%86%b2%e7%a3%81%e6%8e%a7%e6%ba%85%e5%b0%84/ Wed, 28 Nov 2018 08:43:34 +0000 http://localhost/theme20/?p=657 高功率脈沖磁控濺射(HPPMS),也稱為高功率脈沖磁控濺射(HIPIMS)是基于磁控濺射沉積的PVD涂層技術(shù)。HPPMS利用kW / cm 2量級的極高功率密度在小于10%的低占空比(開/關(guān)時間比)下,以數(shù)十微秒的短脈沖(脈沖)為單位。HPPMS的顯著特征是濺射金屬的高度電離和分子氣體的高解離速率,這導(dǎo)致了沉積膜的高密度。電離和解離度根據(jù)峰值陰極功率而增加。該極限由放電從輝光到電弧相的過渡確定。選擇峰值功率和占空比,以保持類似于常規(guī)濺射的平均陰極功率(1-10 W / cm)。

HPPMS用于:

  • 在涂層沉積之前對基底進行粘合力增強的預(yù)處理(基底蝕刻)
  • 沉積具有高微結(jié)構(gòu)密度的涂層

HPPMS在很短的時間內(nèi)(通常為?100μs)使用向陰極提供的大能量脈沖。這需要非常不同類型的電源[1]。HPPMS工藝可將較大的低能量離子通量傳遞給基板。電源必須產(chǎn)生最高3 MW /脈沖的峰值功率,脈沖寬度在100到150μs之間。平均功率約為20 kW,頻率高達(dá)500 Hz。除了提供脈沖功率外,還必須進行電弧抑制。該過程利用了高能量脈沖產(chǎn)生的增強電離的優(yōu)勢。施加至靶材的功率密度約為1 –?3 kW / cm?2(與功率密度約為1 – 10 W / cm?2的傳統(tǒng)磁控濺射相比)[2]。

由于增強的電離作用,可以使用HPPMS來完成晶體膜的生長以及控制其相組成[3]。沉積條件同樣很重要,但是電源的占空比和等離子體參數(shù)似乎有助于形成晶體結(jié)構(gòu)。發(fā)現(xiàn)TiO?2的金紅石相隨脈沖周期而增加,隨密度隨脈沖幅度而降低[3]。然而,其他研究人員沒有看到這種現(xiàn)象,僅獲得了非晶膜,而沉積了高結(jié)晶度的鈦[4]。HPPMS已沉積了高度結(jié)晶的ITO膜。

結(jié)果,HPPMS涂層應(yīng)具有改善的摩擦學(xué),光學(xué),電學(xué)和環(huán)境性能。改善的微結(jié)構(gòu)也改善了光學(xué)性能[3,4,5-9]。眾所周知,折射率取決于光學(xué)涂層的密度。密度較小的涂層的折射率通常低于密度較高的涂層。TiO 2涂層是依賴于密度的完美例子。這種材料的折射率可以在2.2 – 2.5之間變化,具體取決于密度。據(jù)報道,與直流磁控濺射膜相比,由HPPMS沉積的膜具有較高的折射率,如圖1所示[5]。在整個光譜上折射率較高。這些涂層的密度也為3.83 g / cm 3DC膜的密度為3.71 g / cm?3,表面粗糙度為1.3 nm,表面粗糙度僅為0.5 nm?。如果使用電源的最佳占空比,則TiO?2涂層的折射率也很高,約為2.72?[3]。改善SiO?2,ZnO,Al?2?O?3,Ta?2?O?5和ZrO?2的光學(xué)性能電影也有報道[6,7,8]。這些結(jié)果令人印象深刻,但必須注意某些事項。與使用其他電源沉積的涂層相比,HPPMS涂層并不總是具有改進的性能[10]。光學(xué)常數(shù)總是在很大程度上取決于沉積條件,并且必須為每種材料和沉積系統(tǒng)確定最佳的一組條件。我看到平面磁控濺射膜也報道了很高的折射率。實際上,在某些情況下,中頻磁控濺射比HPPMS具有更好的性能[8]。

圖1. HPPMS和直流磁控濺射膜的折射率比較[5] 11。

HPPMS工藝的另一個優(yōu)點應(yīng)該是改善化學(xué)和環(huán)境穩(wěn)定性。銀涂層因缺乏化學(xué)和環(huán)境穩(wěn)定性而臭名昭著,特別是非常薄的涂層。盡管仍有許多測試要做,但HPPMS沉積的銀膜似乎在多層結(jié)構(gòu)中具有更高的穩(wěn)定性和光學(xué)性能[9]。

隨著密度和光滑度的提高,該工藝具有改善摩擦涂層性能的潛力[11-15]。具有致密的微觀結(jié)構(gòu)和光滑表面的涂層在許多應(yīng)用中是優(yōu)選的,因為它增加了耐腐蝕和耐磨性,并減少了摩擦。諸如TiN,CrN x,Cr?x?N?y和Ti?3?SiC?2的硬質(zhì)材料均已通過HPPMS沉積。與直流磁控濺射沉積相比,TiN涂層具有非常細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)[19]。CrN涂層甚至比UBM濺射涂層具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。據(jù)報道硬度值接近25 GPa,滑動磨損系數(shù)從7降低到0.2 [15]。

HPePMS還沉積了VMeCN和CrN / NbN摩擦超晶格涂層[16,17]。這些結(jié)構(gòu)顯示出新的高硬度值和低COF。TiAlCN / VCN超晶格顯示出較高的硬度值(Hv = 2900 kg / mm?2)和0.42的中等較低的COF。CrN / NbN涂層顯示出增強的耐磨性和腐蝕保護性以及較低的表面粗糙度[16]。該過程中的一個重要步驟是用HPPMS沉積的V和Nb預(yù)處理基材。

幾種資源指出HPPMS膜應(yīng)具有較低的機械應(yīng)力[17]。雖然應(yīng)力的測量結(jié)果不充分,但據(jù)報道CrN涂層的應(yīng)力在3GPa附近[15] 23。在碳膜中測得的應(yīng)力范圍為1.6 GPa至6.5 GPa [18]。在TiN涂層中也測得了低應(yīng)力[19,20]。

HPPMS已被用于沉積低電阻率的ITO膜[21],并顯示出有望總體上改善TCO的性能。ZnO:Al膜也已通過此過程沉積。幾乎所有相關(guān)報告都將HPPMS涂層與DC磁控濺射涂層進行了比較。圖2比較了HPPMS和在300 C下沉積的DC濺射膜的表面形態(tài)[22]。再次注意HPPMS膜的表面非常光滑。圖3比較了兩種方法(9a – DC和9b – HPPMS)沉積的電阻率膜。在一個O由DC方法來實現(xiàn)的電阻率2為1sccm的流量為?3.2×10?-3?Ω.cm(在本領(lǐng)域ITO的絕對狀態(tài)),而HPPMS方法的電阻率是3.1?×10?-3?Ω.cm為相同的O?2流。作者認(rèn)為這是一個很大的差異,電阻率最低報道的值是1.35×10 -3?Ω.cm直流膜和?1.25 X10?-3 Ω.cm為HPPMS膜。HPPMS的真正優(yōu)勢似乎在于涂層的光滑度,而HPPMS贏得了人們的青睞。

直流磁控管(a)和HPPMS(b)沉積的ITO膜的表面形態(tài)比較
圖2.由直流磁控管(a)和HPPMS(b)沉積的ITO膜的表面形態(tài)比較[22]。
圖3.由直流磁控管(a)和HPPMS(b)沉積的ITO膜的電阻率和光吸收率的比較[22]。

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參考:

  1. D J Christie et al., 47th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2004) 113.
  2. William D. Sproul, 50 years of Vacuum Coating Technology and the growth of the Society of Vacuum Coaters, Donald M. Mattox and Vivienne Harwood Mattox ed., Society of Vacuum Coaters (2007) 35.
  3. R Bandorf et al., 50th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2007) 160.
  4. J A Davis et al., 47th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2004) 215.
  5. K Sarakinos et al., Rev. Adv. Mater. Sci, 15 (2007) 44.
  6. S Konstantinidis et al., 50th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2007) 92.
  7. W.D. Sproul, D.J. Christie, and D.C. Carter, 47th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2004) 96.
  8. D A Glocker et al, Proceedings of the 48th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2005) 53.
  9. J Li, S R Kirkpatrick and S L Rohde, Presentation SE-TuA1, AVS 2007 Fall Technical Conference, October 14 – 19, 2007, Seattle WA.
  10. D A Glocker et al., 47th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2004) 183
  11. A P Ehiasarian et al., Proceedings of the 45th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2002) 328.
  12. J B?hlmark et al., Proceedings of the 49th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2006) 334.
  13. J Alami et al., Thin Solid Films 515 (4): 1731–1736.
  14. A P Ehiasarian et al., Surface and Coatings Technology 163-164: 267-272.
  15. J Paulitsch et al., Proceedings of the 50th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2007) 150.
  16. A P Ehiasarian et al, Proceedings of the 49th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2006) 349.
  17. W D Sproul, Proceedings of the 50th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2007) 591
  18. B M DeKoven et al. Proceedings of the 46th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2003) 158
  19. SE+PS-MoA1: R. Chistyakov, “Modulated Pulse Power Deposition ofNanometer-Scale Multilayered Coatings”, presented at the 2008 AVS Fall Technical Conference, Seattle, WA, October 21, 2008.
  20. SE+PS-MoA3: A. Amassian et al., presented at the 2008 AVS Fall Technical Conference, Seattle, WA, October 21, 2008.
  21. P Eh Hovsepian et al., Proceedings of the 50th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2007) 602.
  22. V Sittinger et al., Proceedings of the 49th Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters (2006) 343.
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